[1]徐龙权,许冬,刘新卫,等.MOCVD原位监测系统的设计与实现[J].华侨大学学报(自然科学版),2018,39(2):210-213.[doi:10.11830/ISSN.1000-5013.201709007]
　XU Longquan,XU Dong,LIU Xinwei,et al.Design and Implementation of MOCVD In Situ Monitoring System[J].Journal of Huaqiao University(Natural Science),2018,39(2):210-213.[doi:10.11830/ISSN.1000-5013.201709007]
点击复制

MOCVD原位监测系统的设计与实现()
分享到：

《华侨大学学报（自然科学版）》[ISSN:1000-5013/CN:35-1079/N]

卷:
第39卷
期数:
2018年第2期
页码:
210-213
栏目:
出版日期:
2018-03-20

文章信息/Info

Title:
Design and Implementation of MOCVD In Situ Monitoring System
文章编号:
1000-5013(2018)02-0210-04
作者:
徐龙权1; 2;  许冬2;  刘新卫2;  方颂2
1. 南昌大学 国家硅基LED工程技术研究中心, 江西 南昌 330047;2. 南昌大学 信息工程学院, 江西 南昌 330031
Author(s):
XU Longquan1; 2;  XU Dong2;  LIU Xinwei2;  FANG Song2
1. National Institute for LED on Silicon Substrate, Nanchang University, Nanchang 330047, China; 2. School of Information Engineering, Nanchang University, Nanchang 330031, China
关键词:
原位监测;  TSM320F28335;  金属有机化合物化学气相沉积;  数据采集;  数据处理;  人机界面
Keywords:
in situ monitoring;  TSM320F28335;  metal organic chemical vapor deposition;  data acquisition;  data processing;  human-computer interface
分类号:
TP393.1
DOI:
10.11830/ISSN.1000-5013.201709007
文献标志码:
A
摘要:
设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统,采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机,采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台,且具有良好的人机交互界面.应用于自主研发的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)设备,测试结果表明:该设计具有采集数据准确、通信快速稳定、人机界面友好、程序运行流畅的特点,完全符合工程控制要求.
Abstract:
A data acquisition and processing system based on TSMF32028335 and AD7656 is designed in this paper, and the TCP/IP communication between the development board and the host computer is completed by using the Ethernet chip W5300. In upper computer, a platform based on Delphi for data processing, storage, display and monitoring is programmed, which has friendly man-machine interface. With testing on metal organic chemical vapor deposition(MOCVD)equipment, the results show that this design meets the requirements for engineering control,and the design has the characteristics of accurate data acquisition, fast and stable communication, friendly man-machine interface and smooth running of the program.

参考文献/References:

[1] 王宏伟.生产型MOCVD电气控制系统的研发[D].南昌:南昌大学,2013.
[2] BELOUSOV M,VOLF B,RAMER J C,et al.In situ metrology advances in MOCVD growth of gaN-based materials[J].Journal of Crystal Growth,2004,272(1/2/3/4):94-99.DOI:10.1016/j.jcrysgro.2004.08.080.
[3] 谭威,罗仁泽,高文刚,等.基于TMS320F28335的DSP最小系统设计[J].工业控制计算机,2012,25(4):98-99.DOI:10.3969/j.issn.1001-182X.2012.04.047.
[4] 李伟.MOCVD的在线膜厚监测系统的设计与实现[D].武汉:武汉理工大学,2012.
[5] 吴昊,严胜刚,薛双喜.基于W5300的以太网数据传输系统的设计与实现[J].电子设计工程,2012,20(9):92-94,98.DOI:10.3969/j.issn.1674-6236.2012.09.033.
[6] 赵秋颖,席磊磊,周琦钧,等.基于W5300的嵌入式网络管理控制系统设计[J].计算机测量与控制,2015,23(6):1976-1978,1982.DOI:10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2015.06.040.
[7] 高阳,潘宏侠,吴升,等.基于DSP的电力设备远程监测分析系统[J].电力自动化设备,2010,30(1):127-131.DOI:10.3969/j.issn.1006-6047.2010.01.028.
[8] 徐彪,朱健铭,蒋朝阳,等.通用型工业级数据采集和监控系统设计[J].计算机测量与控制,2014,22(10):3192-3195,3198.DOI:10.3969/j.issn.1671-4598.2014.10.035.
[9] 刘岩俊.基于DSP的嵌入式温度测量系统设计与实现[J].国外电子测量技术,2014,33(1):78-81.DOI:10.3969/j.issn.1002-8978.2014.01.026.
[10] 马青.高速数据采集信号调理电路的研究[D].哈尔滨:哈尔滨理工大学,2009.
[11] 孙元敏.基于DSP的数据采集处理系统的设计与实现[D].济南:山东大学,2008.
[12] 赵天驰.基于DSP的振动信号采集及处理模块研制[D].哈尔滨:哈尔滨工业大学,2016.
[13] 欧海英,张为华,赵经成,等.设计优化可视化研究综述[J].系统仿真学报,2008(20):5431-5437.
[14] 何娣,马慧斌,韩凯旋.基于Delphi与Access的人力资源信息管理系统设计[J].现代电子技术,2012,35(12):56-58.DOI:10.3969/j.issn.1004-373X.2012.12.019.
[15] 宋秉玺.高效无损压缩算法的研究与实现[D].西安:西安电子科技大学,2014.

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期: 2017-09-10
通信作者: 徐龙权(1971-),男,研究员,主要从事MOCVD装备与外延工艺的联合研发及计算机仿真的研究.E-mail:xulonquan@ncu.edu.cn.
基金项目: 国家高技术研究发展计划(2012AA041002, 2015AA03A102); 江西省重点研发计划(20171ACE50029); 江西省科技厅重大科技专项(20114ABF06102)
更新日期/Last Update: 2018-03-20