[1]于百英,庄其仁,阮思旭.采用模压技术的聚合物矩形光栅制作[J].华侨大学学报(自然科学版),2007,28(2):151-154.[doi:10.3969/j.issn.1000-5013.2007.02.011]
　YU Bai-ying,ZHUANG Qi-ren,RUAN Si-xu.Research on Making the Polymer Rectangle Grating with Pressing Technology[J].Journal of Huaqiao University(Natural Science),2007,28(2):151-154.[doi:10.3969/j.issn.1000-5013.2007.02.011]
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采用模压技术的聚合物矩形光栅制作()
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《华侨大学学报（自然科学版）》[ISSN:1000-5013/CN:35-1079/N]

卷:
第28卷
期数:
2007年第2期
页码:
151-154
栏目:
出版日期:
2007-04-20

文章信息/Info

Title:
Research on Making the Polymer Rectangle Grating with Pressing Technology
文章编号:
1000-5013(2007)02-0151-04
作者:
于百英; 庄其仁; 阮思旭
华侨大学信息科学与工程学院; 华侨大学信息科学与工程学院 福建泉州362021; 福建泉州362021
Author(s):
YU Bai-ying;  ZHUANG Qi-ren;  RUAN Si-xu
College of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Quanzhou 362021, China
关键词:
模压技术;  聚合物;  光栅;  莫尔条纹
Keywords:
mould pressing technology;  polymer;  grating;  morie fringe
分类号:
TN253
DOI:
10.3969/j.issn.1000-5013.2007.02.011
文献标志码:
A
摘要:
在适当的压力条件下,通过控制压制的温度,制作出性能优良的PC(Polycarbonate)聚合物矩形光栅,光栅压制模板为采用感应耦合等离子体(ICP)技术刻蚀的熔融石英矩形光栅模板.对聚合物光栅的衍射观察和测量,证明用模压技术制作的PC聚合物矩形光栅具有很好的衍射效率和表面质量.
Abstract:
A method of making the grating with mould pressing technology on the polymer optics material is presented in this paper.Under the proper pressure and temperature,we have made out of PC(Polycarbonate) polymer rectangle gratings with good performance.The mask pattern is the melting quartz rectangle grating carved by ICP(Inductively Coupled Plasma) technology.By observing and measuring diffraction of the polymer grating,we prove that the PC polymer rectangle grating made in mould pressing technology has a higher diffraction efficiency and good surface quality.

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备注/Memo

备注/Memo:
福建省自然科学基金资助项目(A0410019)
更新日期/Last Update: 2014-03-23